电子级水的技术指标,国家标准GB/T 1144.6.1-1997
级别
指标 |
EW-Ⅰ |
EW-Ⅱ |
EW-Ⅲ |
EW-Ⅳ |
电阻率MΩ.cm(25℃) |
18以上
(95%时间)不低于17 |
15
(95%时间)不低于13 |
12.0 |
0.5 |
全硅,z大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
>1μm微粒米,z大值,个/m L |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
细菌个数,z大值,个/m L |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
铜,z大值,μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
锌,z大值,μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
镍,z大值,μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
钠,z大值,μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
钾,z大值,μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯,z大值,μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
硝酸根,z大值,μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根,z大值,μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根,z大值,μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
总有机碳,z大值,μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
﹡.引进国家标准GB/T 1144.6.1-1997 |